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コンパクトプロセスモニタ 2~65AMU φ34CF取り合い MICROPLE System-065-C

特徴

四重極質量分析計の測定原理使った、コンパクトプロセスガスモニタです。低真空(高圧)域0.5Pa(3.8mtorr)での操作可能コンパクトユーザーによるセンサ交換が可能で休止期間を最低限に出来ます

仕様

測定範囲:2~65AMU最大使用圧力(N2):0.9Pa最小検知分圧(N2):5×10-6Pa(70eV)プラズマガード付きセンサー:φ34CF取り合いセット製品詳細:(1)スペクトラムジェネレーター/(2)センサー/(3)電源ユニット/(4)SG-電源間ケーブル3m/(5)SG-PC間ケーブル3m/(6)専用クランプ/(7)ソフトウェア/(8)USB-シリアル変換機/(9)変換アダプタ※単体購入は別途お打合せ※オプションで差動排気システムもございます
型番:
MICROPLE System-065-C
  • 荷姿サイズ

    W:240 D:200 H:115 mm

     0.70kg
  • 商品コード:
    62-2991-13
  • 入り数:
    1個
  • 当社在庫[?]
  • 出荷目安 :
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