コンパクトプロセスモニタ 2～65AMU φ34CF取り合い MICROPLE System-065-C
特徴
四重極質量分析計の測定原理使った、コンパクトプロセスガスモニタです。低真空（高圧）域0.5Pa（3.8mtorr）での操作可能コンパクトユーザーによるセンサ交換が可能で休止期間を最低限に出来ます
仕様
測定範囲：2～65AMU最大使用圧力(N2)：0.9Pa最小検知分圧(N2)：5×10-6Pa(70eV)プラズマガード付きセンサー：φ34CF取り合いセット製品詳細：(1)スペクトラムジェネレーター/(2)センサー/(3)電源ユニット/(4)SG-電源間ケーブル3m/(5)SG-PC間ケーブル3m/(6)専用クランプ/(7)ソフトウェア/(8)USB-シリアル変換機/(9)変換アダプタ※単体購入は別途お打合せ※オプションで差動排気システムもございます
型番：
MICROPLE System-065-C
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荷姿サイズ：
W:240 D:200 H:115 mm
0.70kg